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爱思强出货某面板厂一套OVPD OLED蒸镀系统
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出自:OLED新技术

爱思强宣布其接到了某亚洲主要OLED面板制造商的设备订单,将提供一套OLED蒸镀系统并于2017年下半年安装完成。

虽然爱思强并没有在公告中说明其蒸镀系统的类型,但根据以往的报道,爱思强只有OVPD蒸镀系统的制造经验,所以本次出货的蒸镀系统类型将为OVPD。

爱思强将与面板制造商合作,努力将OVPD蒸镀设备调试至生产水平。据爱思强透露,OVPD蒸镀技术对比传统蒸镀技术,具有多种独有优势,包括高蒸镀速率、高材料利用率及降低材料在蒸发中的裂解等。

在去年3月,爱思强称其使用OVPD蒸镀设备实现了OLAD(OrganicLarge Area Demonstrator),在持续数月的测试后得到了较好的结果,目前设备已经进入出货客户的测试阶段。

什么是OVPD 蒸镀技术

OVPD是AIXTRON爱思强提供的革命性的有机半导体材料沉积技术,可生产用于平面显示器、照明和其它半导体应用的有机发光二极管(OLED)和柔性电子。 OVPD以气相传输原理为基础,是一项创新的有机小分子薄涂层沉积技术,可实现低运营成本和最大生产效率。

在由美国普林斯顿大学Stephen R. Forrest教授研发并持有专利的工艺中,有机材料可在高真空条件下蒸发,并通过惰性载气传输至发生沉积现象的基材中。 与传统方法(真空热蒸发- VTE)相比,该技术在工艺控制、可再生性以及运营成本方面均具有重大优势。

美国环宇显示技术股份有限公司(UDC)拥有OVPD专利的使用权,并在1999年专门将此专利授予AIXTRON爱思强用于OVPD系统的研发、生产和营销。在UDC的支持下,AIXTRON爱思强已研发出以OLED技术要求为重点的OVPD生产系统。 为此,AIXTRON爱思强将OVPD与获得专利的近耦合喷淋头(CCS)技术相结合,并成功应用于其他AIXTRON爱思强沉积系统(MOCVD),实现半导体设备的批量生产。

 

 

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文章收入时间: 2017-04-21
 
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