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ENTEGRIS发布高纯度气体纯化系统平台
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出自:SEMI中国

Entegris宣布引进新的先进气体纯化平台,以提高半导体和 LED 应用的晶圆良率。新系列 GateKeeper 气体纯化系统 (GPS) 采用新的纯化介质,可在各种流量下提供一流的气体纯度,且设备占用空间更少。随着产能扩充到了韩国,现在Entegris 可同时在北美和亚洲生产 GateKeeper GPS 系统。

Entegris 微污染控制部门高级副总裁 Clint Haris 表示:“我们的客户面临前所未有的污染控制挑战,如何高效地生产日益复杂的尖端设备成为一大难题。新的 Gatekeeper GPS系统系列为客户提供先进的解决方案,可在这种环境下实现良率最大化。配合这些新技术引进的同时,我们将继续投资北美和亚洲生产设施,进一步扩展全球服务和生产能力。”

先进节点半导体工艺和 LED 生产要求需要更高纯度以清除工艺气体所夹带的污染物,这些污染物会导致产品瑕疵。GateKeeper GPS系统系列可清除气流中的各种污染物,使其降至万亿分之一级别,并可通过配置来适应各种流量。经纯化的气体包括 CDA、N2、H2、用于 EUV 的 H2、Ar、NH3。此外,制造商正在寻找附属厂房占地面积更小的机台。更小的占地面积可让客户将宝贵的附属厂房地面空间腾出,安装其他所需机台或额外系统来提高纯化产能。
 

 

 

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文章收入时间: 2017-02-13
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